Microscopes électroniques sur le site du Laboratoire P’

Microscope MET Jeol 2200 FS

Source FEG 200kV
Filtre en énergie intégré dans la colonne
type Omega (EELS, imagerie et diffraction filtrées)
Résolution point-point: 0.23nm
Résolution en énergie: 0.7eV (EELS)
Porte-objet double-inclinaison JEOL
Porte-objet froid (LN2) double-inclinaison GATAN
Module STEM + détecteur HAADF (sonde ~1nm)
CCD 2048×2048 px²

2200

Microscope MET Jeol 3010 ARP

Source:LaB6-300kV
Résolution ponctuelle: 0.19nm (Cs=1.2 mm)
Porte-objet double-inclinaison JEOL.
Porte-objet froid (LN2) double-inclinaison GATAN (CBED et LACBED)
Caméra vidéo Lhésa

Microscope MEB Jeol 5600 LV

Source:W -30kV
Détection:Electrons secondaires (SEI) Electrons rétrodiffusés (BEI)
Analyse par dispersion en énergie des rayons X (EDXS): system ISIS –Oxford
Détection des éléments légers jusqu’au Bore
Mode pression variable (pour échantillons isolants)

Microscope MEB-FEG JEOL 7001F-TTLS

Canon à électrons à émission de champ (FEG) pouvant fonctionner entre 30 kV et 100 V avec une résolution de 1.2 nm à 30 kV en électrons secondaires. Un détecteur d’électrons rétrodiffusés y est également disponible. Les matériaux isolants peuvent être imagés à l’aide d’un détecteur sélectif d’électrons dans la colonne aux basses tensions. Pour l’analyse chimique, ce MEB est pourvu d’un spectromètre de rayons X par dispersion d’énergie (EDS, Oxford Instruments) permettant la quantification d’éléments semi-lourds et lourds (11 <= Z <= 92), et d’un spectromètre de rayons X par dispersion de longueur d’onde (WDS, Oxford Instruments) pour la quantification d’éléments légers (à partir de Z = 5), semi-lourds et lourds. Des courants de sonde pouvant aller jusqu’à 400 nA sont accessibles pour l’analyse de traces d’éléments par WDS.

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